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晶圓片托架落座傳感器SPY801
中文产品名稱:
晶圓片托架落座傳感器SPY801
型號:
EE-SPY801/802
描述:
薄片載體的落座檢測,依靠與導槽並用,設定落座位置,晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越,在獨特的光學結構,幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架,采用強抗外部幹擾光的變調光方法,電線使用淨化電線(無粉塵)。
說明書:
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